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P15壓電掃描臺(tái)是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺(tái)，具有非常高的直線(xiàn)度。中心通孔直徑48mm，非常適于透射光應(yīng)用，如近場(chǎng)掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。

特點(diǎn)：

行程范圍為370 x 370 x270μm；

可選配應(yīng)變式閉環(huán)傳感器；

無(wú)摩擦、高精度撓性導(dǎo)向系統(tǒng)；

掃描平整度高；

通孔直徑48 mm。

應(yīng)用：掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學(xué)、生物技術(shù)、微操作等。

P15壓電掃描臺(tái)XY方向的運(yùn)動(dòng)行程為370μm，Z向的運(yùn)動(dòng)行程為270μm，它的內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線(xiàn)切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。 FEA使其設(shè)計(jì)具有盡可能高的剛度，并使線(xiàn)性和角度跳動(dòng)小化。

P15壓電掃描臺(tái)可選配閉環(huán)反饋傳感器，可提供更高的定位精度，非常適合高精度定位應(yīng)用。

閉環(huán)上升曲線(xiàn)

與常規(guī)的閉環(huán)壓電掃描臺(tái)相比，P15系列在外觀上略有不同，它的臺(tái)體上具有兩個(gè)出線(xiàn)孔，分別為PZT供電引線(xiàn)及閉環(huán)信號(hào)反饋引線(xiàn)。并且，P15系列壓電掃描臺(tái)的移動(dòng)面，較臺(tái)體平面高出一部分，更易辨別。

P15壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P15.XYZ300S

XY標(biāo)稱(chēng)行程范圍：370(±185)µm/軸

Z標(biāo)稱(chēng)行程范圍：270µm

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：8/5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.15%F.S.

運(yùn)動(dòng)方向剛度：X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

空載諧振頻率：X120/Y150/Z250 Hz

大承載：0.5Kg

XY靜電容量：21μF

Z靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋁

重量：900g

應(yīng)用案例

納米光刻

首先計(jì)算機(jī)將BMP圖轉(zhuǎn)化為灰度圖，然后再通過(guò)控制系統(tǒng)控制壓電掃描臺(tái)，帶動(dòng)鍍膜鏡片在0-300μm范圍內(nèi)對(duì)讀取的圖像信息進(jìn)行優(yōu)化，同時(shí)控制激光器及掃描臺(tái)，二者配合完成BMP圖的納米定位加工。

AFM原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位掃描臺(tái)作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動(dòng)樣品進(jìn)行高速精密運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)X、Y、Z軸280μm的掃描，分辨率為亞納米級(jí)，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。

干涉

壓電掃描臺(tái)的Z向的納米級(jí)的微運(yùn)動(dòng)，調(diào)整待測(cè)物的位置，從而改變對(duì)應(yīng)的干涉條紋的寬度及位置，以達(dá)到更的表面測(cè)量。