


壓電納米旋轉臺用于高精度IMU的出廠標定
在無人機精準懸停、自動駕駛汽車平穩(wěn)過彎的背后,有一顆至關重要的核心處理器- 慣性測量單元(IMU)。它的精度,直接決定了智能設備感知自身姿態(tài)的準確度。一顆高精度的IMU,其優(yōu)秀性能離不開生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最關鍵的一道工序:出廠標定。當IMU標定需求邁入微弧度時代,壓電納米旋轉臺憑借獨特技術優(yōu)勢,成為標定場景的理想搭檔。
一、IMU標定為何是出廠“必修課”?
慣性測量單元(Inertial Measurement Unit)是一種用于測量物體運動狀態(tài)的傳感器裝置。IMU通常由加速度計和陀螺儀組成,加速度計用于測量物體在三個正交方向上的線性加速度。陀螺儀則用于測量物體繞三個正交軸的角速度。通過對這些加速度和角速度數(shù)據(jù)的處理,IMU可以解算出物體的姿態(tài)、速度和位置等信息。
IMU具有更新頻率高、短時間內推算精度高的特點,它不依賴外部信號,能夠在室內、地下、水下等GPS信號受限的環(huán)境中獨立工作,因此在航空航天、無人機、自動駕駛汽車、機器人、智能穿戴等眾多領域都有廣泛應用。
IMU內部集成的加速度計和陀螺儀,分別測量線加速度與角速度,受一些因素影響,在實際輸出數(shù)據(jù)時,都會存在微小的偏差:可能是安裝時帶來的誤差,可能是標度因子非線性誤差,也可能是軸間不對準造成測量方向偏差。而標定的本質,就是通過精準測試建立誤差模型,將這些系統(tǒng)性誤差進行補償修正,從而確保IMU輸出數(shù)據(jù)更接近真實運動。

誤差模型示意圖
加速度計通常依賴重力常量標定:重力矢量方向固定,通過將IMU以不同姿態(tài)放置,并采集各個位置狀態(tài)下加速度計的輸出數(shù)值,對比理論值與實測值的偏差,即可推算出加速度計的零偏和標度因子等誤差,完成加速度計標定。
動態(tài)標定則是在IMU處于運動狀態(tài)下進行的標定,常用旋轉平臺或擺動臺來進行校準。IMU動態(tài)標定的原理,是明確輸入值,觀測輸出值來進行對比。為IMU提供一個已知、恒定且精確的物理量(如特定角度、角速度),利用穩(wěn)定的常量角速度,結合轉臺提供的角速度輸入,通過改變IMU姿態(tài),分析傳感器輸出差異,推算出所有誤差參數(shù)模型,從而修正動態(tài)測量誤差。
二、高精度IMU標定對設備提出何種要求?
IMU出廠標定并不是簡單的旋轉測試,而是對設備、流程的系統(tǒng)性考驗,它的核心要求集中在以下幾個方面:
1.姿態(tài)控制:精度必須匹配上IMU的測量能力
傳感器精度已向更精密的級別進階,所以標定設備需實現(xiàn)微弧度級的姿態(tài)調整。傳統(tǒng)轉臺易受機械間隙、摩擦影響,難以滿足高端IMU對安裝誤差、標度因數(shù)的校準需求。
2.動態(tài)響應:能模擬復雜運動狀態(tài)
標定不僅要測靜態(tài)誤差,還需通過動態(tài)角速度測試驗證傳感器性能。這要求轉臺能快速切換姿態(tài),且運動過程穩(wěn)定無抖動,避免引入額外誤差。
3.環(huán)境適配:扛住全溫范圍測試
IMU需在一些極端環(huán)境下穩(wěn)定工作時,標定也需同步開展全溫測試。設備需體積緊湊,且自身不受溫度變化影響。

三、壓電納米旋轉臺如何成為IMU標定的理想基座
壓電納米旋轉臺基于壓電陶瓷的逆壓電效應驅動,輸入電壓從而引起材料產(chǎn)生納米級形變。它具有的納米級分辨率、無摩擦以及超快響應速度,地滿足了IMU標定的需求。
01極高的角度分辨率
壓電納米旋轉臺能夠產(chǎn)生并穩(wěn)定在極其微小的角度步進(例如微弧度級別),以精確標定傳感器的非線性誤差等。
02超平穩(wěn)的動態(tài)標定
壓電驅動具有毫秒級的響應速度和無磁、無摩擦的優(yōu)勢。這使得旋轉臺可以進行極其平滑、無抖動的低速轉動和掃描,是測試傳感器的理想輸入源。它能幫助更清晰地分離出IMU的動態(tài)誤差,從而進行針對性補償。
03實現(xiàn)多自由度精密對準
通過將多個壓電產(chǎn)品例如壓電納米旋轉臺和壓電納米定位臺組合成多軸系統(tǒng),可以構建一個多自由度的精密運動平臺,可快速且精準地將IMU調整至標定流程所需的任何一個理論姿態(tài)。其極高重復定位精度,確保了每次標定的一致性,從根源上保證了出廠IMU產(chǎn)品性能的均一性與可靠性。
S54.T2系列壓電偏擺臺
S54.T2系列是具有中心通孔的二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。

特點
· θx、θy偏擺運動
· 開環(huán)/閉環(huán)可供選擇
· 80×80mm大通孔
· 分辨率高
· 外形超薄
· 適于加速度/角速度傳感器標定
技術參數(shù)
| 型號 | S54.T2S/K |
| 運動自由度 | θx,θy |
| 驅動控制 | 3路驅動,2路傳感/3路驅動 |
| 標稱偏轉角度范圍(0~120V) | ±0.8mrad(≈±165秒)/軸 |
| Max.偏轉角度范圍(0~150V) | ±1mrad(≈±200秒)/軸 |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 偏擺分辨率 | 0.07µrad/0.002µrad |
| 閉環(huán)線性度 | 0.2%F.S./- |
| 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1%F.S./- |
| 推/拉力 | 40N/8N |
| 運動方向剛度 | 0.5N/µm |
| 空載諧振頻率 | θx450Hz/θy400Hz |
| 空載階躍時間 | 20ms/3.5ms |
| 閉環(huán)工作頻率(-3dB) | 110Hz(空載) |
| 承載能力 | 1kg |
| 靜電容量 | 3.6μF/軸 |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 外形尺寸(長×寬×高) | 125mm×125mm×20mm |
| 通光孔尺寸(長×寬) | 80mm×80mm,4×R10** |
| 重量 | 510g |
**代表通光孔4個角弧形半徑為10mm。
S21.R3S/K壓電旋轉臺
S21.R3S/K壓電旋轉臺是一維θz運動的壓電納米定位臺,它的外形結構緊湊,非常易于集成。

特點
· θz旋轉
· 旋轉角度3mrad
· 閉環(huán)定位精度高
· 響應速度快
· 體積小巧
技術參數(shù)
| 型號 | S21.R3S/K |
| 運動自由度 | θz |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 驅動控制 | 1路驅動,1路傳感/1路驅動 |
| 標稱行程范圍(0~120V) | 2.4mrad |
| Max.行程范圍(0~150V) | 3mrad |
| 分辨率 | 0.1μrad/0.003μrad |
| 閉環(huán)線性度 | 0.3%F.S./- |
| 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1%F.S./- |
| 空載諧振頻率 | 700Hz |
| 帶載0.5kg諧振頻率 | 120Hz |
| 承載能力 | 0.5kg |
| 靜電容量 | 5.4μF |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 重量(不含線) | 1635g |
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