技術(shù)參數(shù) 型號  | N90.XYZTR1S  | N90.XYZTR2S  | N90.XYZTR5S  | N90.XYZTR1K N90.XYZTR2K N90.XYZTR5K  | 單位  |  | 運動自由度 | X,Y,Z,θx,θy,θz  | 同S  |   |  X、Y軸標(biāo)稱行程范圍 (0~120V)  | ±6.5  | ±12.5  | ±25  | 同S  | um±20%  |  Z軸標(biāo)稱行程范圍 (0~120V)  | ±3.2  | ±6.4  | ±12.8  | 同S  | um±20%  |  θx,θy軸標(biāo)稱行程范圍 (0~120V)  | ±0.16  | ±0.32  | ±0.64  | 同S  | mrad±20%  |  θz軸標(biāo)稱行程范圍 (0~120V)  | ±0.24  | ±0.48  | ±0.96  | 同S  | mrad±20%  |  剛度  | 50  | 58  | 66  | 同S  | N/um±20%  |  重量  | 1  | 1.15  | 1.3  | 同S  | kg±20%  |  | 重復(fù)精度 | 0.05  | -  | %F.S.  |  | 閉環(huán)線性度 | 0.25  | -  | %F.S.  |  結(jié)構(gòu)形式  | 六自由度并聯(lián)式  |   |  驅(qū)動方式  | 壓電陶瓷驅(qū)動  |   |  zui大承載  | 5  | kg  |  | 諧振頻率 | 1  | kHz±5%  |  標(biāo)稱行程驅(qū)動電壓為:0~120V,zui大行程驅(qū)動電壓可到-20~150V  |   |  
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