P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)  X軸行程 18μm/ 軸  開(kāi) / 閉環(huán)可選  Z 向行程 8μm  開(kāi) / 閉環(huán)可選  真空版本可選 技術(shù)參數(shù): 型號(hào)  | S-閉環(huán) K-開(kāi)環(huán)  | P63.X18Z8S  | P63.X18Z8K  | 單位  |  運(yùn)動(dòng)自由度  | X、Z  | X、Z  | 
  |  驅(qū)動(dòng)控制  | 2路驅(qū)動(dòng),2路傳感  | 2路驅(qū)動(dòng)  | 
  |  標(biāo)稱(chēng)行程范圍(0 ~+120 V)  | X:16, Z:6  | X:16, Z:6  | μm±10%  |  Max.行程范圍(0~+150 V)  | X:18, Z:8  | X:18, Z:8  | μm±10%  |  傳感器類(lèi)型  | SGS  | -  | 
  |  閉/開(kāi)環(huán)分辨率  | X0.6 Z0.2  | X0.2 Z0.1  | nm  |  閉環(huán)線性度  | X:0.3, Z:1  | -  | %F.S.  |  閉環(huán)重復(fù)定位精度  | 0.25  | -  | %F.S.  |  俯仰/偏航/滾動(dòng)  | ≤15  | ≤15  | μrad  |  空載諧振頻率  | X2/Z1  | X2/Z1  | KHz±20%  |  閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間  | 8  | 0.5  | ms±20%  |  承載能力  | 0.5  | 0.5  | kg  |  靜電容量  | X:1.8, Z0.8  | X:1.8, Z0.8  | μF±20%  |  工作溫度范圍  | -20~80  | -20~80  | °C  |  材質(zhì)  | 鋁  | 鋁  | 
  |  出線長(zhǎng)  | 1.5  | 1.5  | m±10mm  |  
 P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺(tái) 尺寸圖  
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