


產(chǎn)品名稱:三維XYZ向壓電納米定位臺
產(chǎn)品型號:XP-62X
產(chǎn)品特點:三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有好的控制精度,分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。
更新日期:2025-10-17
三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有好的控制精度,分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。

特性:
1~3維自由組合
• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級
• 亞毫秒響應(yīng)時間
1-3維平移臺
P63系列壓電納米定位臺,包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 質(zhì)量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡
小體積、高精度、響應(yīng)速度快
P63系列壓電納米定位臺重要的特點是超級精密 且體積非常小巧,尺寸僅為30×24×42mm(X軸尺寸 為30×24×21mm),易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng),是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計的,具有超低慣性,響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms,可配置 高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。
應(yīng)用實例
   
P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削 力測試實驗中。
三維XYZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù):
|              
 型號  |                          
 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)  |                          P63.X7S P63.X7K  |                          P63.Z7S P63.Z7K  |                          P63.XY7S P63.XY7K  |                          P63.XZ7S P63.XZ7K  |                          P63.XYZ7S P63.XYZ7K  |                          
 單位  |         
|              運動自由度  |                          X  |                          Z  |                          X、Y  |                          X、Z  |                          X、Y、Z  |                          
  |         |
|              標(biāo)稱行程范圍(0~120V)  |                          5.5  |                          5.5  |                          5.5/軸  |                          5.5/軸  |                          5.5/軸  |                          μm±20%  |         |
|              大行程范圍(-20~150V)  |                          8  |                          8  |                          8/軸  |                          8/軸  |                          8/軸  |                          μm±20%  |         |
|              傳感器類型  |                          SGS/-  |                          SGS/-  |                          SGS/-  |                          SGS/-  |                          SGS/-  |                          
  |         |
|              閉/開環(huán)分辨率  |                          0.2/0.1  |                          0.2/0.1  |                          0.2/0.1  |                          0.2/0.1  |                          0.2/0.1  |                          nm  |         |
|              閉環(huán)線性度  |                          0.2/-  |                          0.2/-  |                          0.2/-  |                          0.2/-  |                          0.2/-  |                          %F.S.  |         |
|              閉環(huán)重復(fù)定位精度  |                          0.1/-  |                          0.1/-  |                          0.1/-  |                          0.1/-  |                          0.15/-  |                          %F.S.  |         |
|              俯仰/偏航/滾動  |                          <5  |                          <5  |                          <10  |                          <10  |                          <15  |                          µrad  |         |
|              推/拉力  |                          10/2  |                          12/2  |                          8/2  |                          9/2  |                          7/2  |                          N  |         |
|              運動方向剛度  |                          1.5  |                          2  |                          X1.2/Y1.4  |                          X1.2/Z1.5  |                          X0.9/Y1/Z1.2  |                          N/μm±20%  |         |
|              空載諧振頻率  |                          2  |                          2.5  |                          X1.3/Y1.9  |                          X1.5/Z1.6  |                          X0.9/Y0.95/Z1.2  |                          kHz±20%  |         |
|              閉/開環(huán)空載階躍時間  |                          1.5/0.3  |                          1.5/0.3  |                          1.5/0.3  |                          1.5/0.3  |                          1.5/0.3  |                          ms±20%  |         |
|              
 閉環(huán)空載 工作頻率  |                          10%行程  |                          1000  |                          1000  |                          500  |                          500  |                          200  |                          
 Hz±20%  |         
|              行程  |                          200  |                          200  |                          100  |                          100  |                          50  |         ||
|              大承載  |                          0.8  |                          0.8  |                          0.5  |                          0.5  |                          0.4  |                          kg  |         |
|              靜電容量  |                          0.8  |                          0.8  |                          0.8/軸  |                          0.8/軸  |                          0.8/軸  |                          μF±20%  |         |
|              材質(zhì)  |                          鋁  |                          鋁  |                          鋁  |                          鋁  |                          鋁  |                          
  |         |
|              重量  |                          70  |                          70  |                          120  |                          120  |                          160  |                          g±5%  |         |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
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