


產(chǎn)品名稱:P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn):P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn): XY 軸行程 18μm/ 軸;開(kāi) / 閉環(huán)可選;承載可達(dá) 0.5kg;真空版本可選;
更新日期:2025-10-17
P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)
XY 軸行程 18μm/ 軸
開(kāi) / 閉環(huán)可選
承載可達(dá) 0.5kg
真空版本可選
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)  | S-閉環(huán) K-開(kāi)環(huán)  | P63.XY18S  | P63.XY18K  | 單位  | 
運(yùn)動(dòng)自由度  | X、Y  | X、Y  | ||
驅(qū)動(dòng)控制  | 2路驅(qū)動(dòng),2路傳感  | 2路驅(qū)動(dòng)  | ||
標(biāo)稱行程范圍(0 ~+120 V)  | 16/軸  | 16/軸  | μm±10%  | |
Max.行程范圍(0~+150 V)  | 18/軸  | 18/軸  | μm±10%  | |
傳感器類型  | SGS  | -  | ||
閉/開(kāi)環(huán)分辨率  | 0.6  | 0.2  | nm  | |
閉環(huán)線性度  | 0.3  | -  | %F.S.  | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度  | 0.25  | -  | %F.S.  | |
俯仰/偏航/滾動(dòng)  | ≤15  | ≤15  | μrad  | |
空載諧振頻率  | 2  | 2  | KHz±20%  | |
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間  | 8  | 0.5  | ms±20%  | |
承載能力  | 0.5  | 0.5  | kg  | |
靜電容量  | 1.8  | 1.8  | μF±20%  | |
工作溫度范圍  | -20~80  | -20~80  | °C  | |
材質(zhì)  | 鋁  | 鋁  | ||
出線長(zhǎng)  | 1.5  | 1.5  | m±10mm  | |
P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 尺寸圖

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